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ファンフィルターユニットの特徴と注意点
HEPAフィルター（へパフィルター）とは
HEPAフィルター（へパフィルター）とは、空気中に浮遊する微細な粒子を高い効率で捕集する高性能なエアフィルターです。主に、医薬品製造工場、半導体工場、精密機器の製造現場などのクリーンルームで使用されます。
JIS規格（Z 8122 2000）では「定格流量で粒径が0.3μmの粒子に対して99.97%以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa{25mmH2O} 以下の性能をもつエアフィルタ。」と規定されています。
出展：日本エアーテック株式会社 SS-MAC（多目的クリーンユニット・FFU）
機械装置やクリーンブースでは、HEPAフィルターと送風機が一体化したファンフィルターユニット（FFU）を使用するのが一般的です。代表的な製品として、日本エアーテック株式会社のMACシリーズがあり、多くの機械装置に採用されています。
ファンフィルターユニット（FFU）は、機械装置では天井、簡易クリーンブースでは天井や側面に設置されることが一般的です。
仕組みとしては、ファンで取り込んだ空気をHEPAフィルターでろ過し、清浄な空気を機械装置の機内や作業空間へ供給することで、必要なクリーン度を維持します。
参考
ファンフィルターユニットの特徴と注意点
ここでは、日本エアーテック株式会社のファンフィルターユニット（MACシリーズ）を例に特徴と注意点を紹介します。
ファンフィルターユニットの特徴
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DCブラシレスモーター搭載機種では、風量調整が可能
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0.1～0.3μmの粒子を99.99%以上捕集することができる（機種によって違う）
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ファンとHEPAフィルターを一体化しており、設置するだけで局所的なクリーン環境を構築できる
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処理風量や吹出風速を機種ごとに選択でき、装置やクリーンブースの大きさに合わせて選定できる
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HEPAフィルターのみ交換可能なため、ユニット全体を交換する必要がなく、メンテナンス性に優れる
出展：日本エアーテック株式会社 SS-MAC（多目的クリーンユニット・FFU） HEPAフィルターの交換方法
次にファンフィルターユニットの注意点です。
- 集塵効率（捕集効率）と処理風量（定格風量）を確認して選定する
- 吹き出し口には付属のスポンジパッキンを貼り忘れないこと
- HEPAフィルターのろ材を傷付けないよう取り扱う
- HEPAフィルターは定期的な交換が必要
ファンフィルターユニットを選定には、集塵効率（捕集効率）や処理風量（定格風量）を確認し、客先が要求するクリーン度や仕様を満たす機種を選定する必要があります。
次に取り付け作業での注意点ですが、取付けるときは、付属しているスポンジパッキンを吹き出し口か取付面に必ず貼り付けます。もし貼り忘れてリークすると、クリーン度の維持ができなくなります。
さらに、HEPAフィルターを交換したり取り付けたりする場合は、HEPAフィルターのろ材を手で押したり工具を当てたりしないように注意してください。凹んだり、破れてしまうリスクがあります。
最後に、メンテナンスについてですが、HEPAフィルターは、使用することで徐々に目詰まりして処理風量が低下するので定期的な交換が必要となります。日本エアーテック株式会社のファンフィルターユニットでは、クリーンルームで使用する場合は約5年、クリーンルーム以外で使用する場合は約1年で交換を推奨しています。
ポイントまとめ
それでは、ファンフィルターユニットの特徴と注意点について重要なポイントをまとめておきます。
ポイント
- HEPAフィルターは0.3μmの微粒子を99.97%以上捕集する高性能フィルター（JISで規定）
- 機械装置にはファンフィルターユニット（FFU）として使用する
- 吹き出し口にパッキンの貼り付けをおこない、フィルターを損傷させないように取り扱うこと
- HEPAフィルターは目詰まりするので、クリーンルームでは5年で交換が必要となる
以上4つのポイントです。
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以上です。
